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Monitorización inteligente de circuitos de refrigeración en hornos para semiconductores

Aplicación

La fabricación de semiconductores exige un control extremadamente preciso de todos los parámetros del proceso.

Sector

Condition Monitoring.

Productos Utilizados

Sensores IO-Link de Turck.

Descripción general de la aplicación

La fabricación de semiconductores exige un control extremadamente preciso de todos los parámetros del proceso. En los hornos de crecimiento de cristales de silicio, el correcto funcionamiento de los circuitos de refrigeración es fundamental para mantener un campo térmico estable, evitar desviaciones en el proceso y garantizar la calidad del cristal obtenido.

La tecnología de TURCK, ofrece una solución de monitorización basada en sensores inteligentes IO-Link que permite supervisar de forma continua el caudal y la temperatura del circuito de refrigeración, facilitando el mantenimiento predictivo y aumentando la disponibilidad de la instalación.

El reto

Los hornos de crecimiento de cristales trabajan durante días o incluso semanas de forma ininterrumpida. Cualquier anomalía en el circuito de refrigeración puede provocar una alteración del campo térmico interno, comprometer la calidad del cristal e incluso ocasionar la pérdida completa del ciclo de producción.

Además, los motores, bombas y variadores generan interferencias electromagnéticas que pueden afectar a las señales analógicas convencionales, dificultando una supervisión fiable del proceso. Las elevadas temperaturas, la humedad y los ambientes químicamente agresivos también complican las tareas de mantenimiento.

La solución

La solución integra los sensores de temperatura TS+ y caudal FS+ de TURCK junto con el maestro IO-Link TBEN-L, sustituyendo las señales analógicas tradicionales por una comunicación digital robusta e inmune a interferencias.

Además de transmitir con precisión las variables de proceso, los sensores proporcionan información de diagnóstico sobre su propio estado, permitiendo detectar de forma anticipada desviaciones de caudal o temperatura antes de que afecten a la producción.

La parametrización remota mediante IO-Link simplifica las tareas de configuración y facilita la sustitución de sensores mediante funciones Plug & Play, reduciendo considerablemente los tiempos de mantenimiento. Gracias a su diseño robusto y a su elevado grado de protección, la solución garantiza un funcionamiento fiable incluso en entornos con altas temperaturas, humedad y agentes corrosivos.

Ventajas clave de la solución:

  • Monitorización continua del caudal y la temperatura del circuito de refrigeración.
  • Comunicación IO-Link inmune a interferencias electromagnéticas.
  • Diagnóstico continuo para mantenimiento predictivo.
  • Detección temprana de anomalías antes de provocar averías o pérdidas de producción.
  • Parametrización remota y sustitución rápida de sensores mediante Plug & Play.
  • Mayor disponibilidad de los hornos durante ciclos de producción prolongados.
  • Funcionamiento fiable en entornos con altas temperaturas, humedad y ambientes corrosivos.
  • Integración sencilla con PLC, SCADA, MES y plataformas IIoT.

Aplicaciones

  • Hornos de crecimiento de cristales de silicio.
  • Fabricación de obleas (wafers).
  • Producción de semiconductores.
  • Hornos industriales de alta temperatura.
  • Procesos donde el control del circuito de refrigeración es crítico para la calidad del producto.

En ELION desarrollamos soluciones avanzadas de Condition Monitoring para procesos industriales críticos, integrando sensores inteligentes, tecnología IO-Link, E/S descentralizadas y plataformas de análisis de datos. Ayudamos a nuestros clientes a incrementar la disponibilidad de sus instalaciones, implantar estrategias de mantenimiento predictivo y garantizar la máxima estabilidad en procesos de alta exigencia como la fabricación de semiconductores.

DESTACADO

La solución IO-Link de TURCK supera las interferencias, permite el mantenimiento predictivo y garantiza un funcionamiento fiable en hornos de crecimiento de cristales.

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